(ALD)原子層沉積設備制造理想之選-西特Model730真空計
(ALD)原子層沉積設備制造理想之選-
西特Model730真空計。ALD--Atomic Layer Deposition 原子層沉積,是在基底材料表面制備原子級別的沉積層. 而ALD關鍵技術需要**控制工藝的環(huán)境參數(shù),其反應器壓力需要嚴格保持在合適的真空條件下,此時通過對反應物的時序脈沖噴射,才能達到準確沉積的效果。借助于Setra(西特)在電容式壓力測量領域逾50年的經(jīng)驗積累, 730型真空電容式壓力計無論從產(chǎn)品設計、制造工藝、品質管理,還是從成本控制等諸多方面,都是ALD設備制造商的理想之選。
Setra(西特)730型真空電容式壓力計是一款高精度的電容式壓力計(亦稱電容式膜片真空計 (CDG)),(ALD)原子層沉積設備制造理想之選-西特Model730真空計-適合在光伏、半導體和工業(yè)市場中測量對過程控制至關重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精度達±0.5%,分辨率高,優(yōu)于同類產(chǎn)品。730 型使用全InconelTM 接液材料,可承受半導體加工過程中的腐蝕性介質。由于采用直接測量設計,它能**測量介質,不受應用中氣體混合物成分的影響。
(ALD)原子層沉積設備制造理想之選-(ALD)原子層沉積設備制造理想之選-西特Model730真空計特點:適合苛刻應用的高性能產(chǎn)品采用單膜片可變電容感應元件,適用于苛刻的半導體和工業(yè)真空應用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動態(tài)范圍寬的特點,使之成為關鍵制造過程中的理想選擇。Inconel® 設計保證通用性 確保730型在這類應用中的長使用壽命。直接壓力測量內(nèi)置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計不同,(ALD)原子層沉積設備制造理想之選-西特Model730真空計, 不受被測混合氣的影響,這使其精度優(yōu)于間接測量型壓力計。
ALD科普((ALD)原子層沉積設備制造理想之選-西特Model730真空計):ALD—Atomic Layer Deposition原子層沉積,是在基底材料表面制備原子級別的沉積層,這種沉積技術可廣泛服務于各類半導體、光學、光電和電池材料的研究,且已經(jīng)在相當多的IC器件、MEMS、傳感器等生產(chǎn)工藝中發(fā)揮了巨大的效用。相較于CVD(化學氣相沉積)技術,ALD提供了更為**的沉積層—自飽和的表面產(chǎn)物,厚度可控制在只有一層原子。如果說CVD是在地面攤了一層水泥砂漿,ALD則是把水泥、砂分別均勻上乘的涂敷在了材料上,沒有任何瑕疵。這種更為精準的層沉積技術為材料帶來的性能提升是不言而喻的。比如借助這種技術處理過的光電材料可使*終的光電轉換效率提升超過10%。用于FPD等光學顯像玻璃時,可使成品亮度、對比度等關鍵性能大幅度提升。
(ALD)原子層沉積設備制造理想之選-西特Model730真空計屬于西特壓力傳感器(Setra真空計)。